半球阀在多晶硅行业的应用

多晶硅生产工艺参数:
介质：硅粉、氮气、氢气、氯化物 (如氯化氢等)
温度：65~350 C
压力：0.5 ~ 0.75 M Pa
硅粉颗粒很小，容易进入阀门空腔和阀座空腔，造成卡死阀座及抱死阀门
2)硅粉硬度很高，达到HRC56~62
3)HCL具有腐蚀性

多晶硅用半球阀的特点：
1、由于现场环境中含有CL2，HCL等腐蚀性气体及灰尘颗粒杂质，执行机构选用免维护的汽缸活塞式执行机构，气路采取304不锈钢管连接，所有外部的零部件（填料压板、压盖、标准件等）均为不锈钢标准配制。阀体采用304L、316L等不锈钢。
2、密封面高速氢氧气喷涂工艺：采用以氢气为燃料的喷涂工艺：氢气、氧气充分燃烧爆炸后，产生高速火焰（火焰速度高达6000码/秒三倍音速），通过特别设计 的喷枪，金属粉末粒子被高速喷涂到球体表面及阀座的密封面上，从而形成致密的、具有极强粘结度的涂层，涂层表面硬度高达HRC72～76。在加工过程中，被加工零件表面温度不超过300华氏度，这样就使得温度升高对该涂层的硬度影响并不大。
3、可供选择的表面硬化处理方法,克服因氯化物而引起的腐蚀泄漏问题
------ 在现代的表面硬化方法中,碳化钨涂层是硬度最高的,但是在腐蚀工况中,其抗腐蚀能力是极低的，因此会产生阀门泄漏的问题。在这种工况下，最合适的解决方案是表面硬化处理采用碳化铬（HRC 66~68）涂层的方法。
碳化铬表面硬化处理方法既解决了硅粉颗粒对阀门密封面的磨损与冲刷问题，也提高了阀门的抗腐蚀性。